دیسک ساخت سیلیکون

دیسک ساخت سیلیکون

این دیسک ساخت سیلیکون با دقت طراحی شده است تا یک پلت فرم-یکپارچگی بالا برایمراحل تولید کنترل شدهدر محیط های نیمه هادی پیشرفته پشتیبانی از محدوده قطر کامل از2 اینچ (50 میلی متر) تا 12 اینچ (300 میلی متر)این دیسک‌ها طوری طراحی شده‌اند که به‌عنوان یک رابط پایدار و بدون آلودگی عمل کنند که انسجام ساختاری مطلق را در سراسر یکپارچه‌سازی دستگاه پیچیده حفظ می‌کند.

کنترل خودکار پایدار:هر دیسک برایکنترل پایدار در طول پردازش خودکار، دارای پروفیل لبه‌ای با دقت بالا-و اصطکاک سطحی کنترل‌شده. این قابلیت اطمینان ساختاری، یکپارچگی یکپارچه با افکتورهای انتهایی روباتیک-و سیستم‌های خلاء را تضمین می‌کند، و لرزش مکانیکی و زمان خرابی را در ریخته‌گری‌های-سرعت بالا به حداقل می‌رساند.

دقت{0}دقت ابعادی دقیق:با حفظ زیر{0}}تلرانس میکرون برای تغییر ضخامت کل (TTV) و تاب، این دیسک به طور قابل توجهیدقت ساخت را بهبود می بخشد. دقت ابعادی فوق‌العاده حاشیه‌های فوکوس ثابت را در طول فتولیتوگرافی تسهیل می‌کند، که مستقیماً با عمق یکنواخت‌تر اچ و بازدهی سطح ویفر{1} بهبود یافته مرتبط است.

انعطاف پذیری پردازش چرخه ای:برای حفظ آن طراحی شده استثبات در طول تولید، دیسک دارای انعطاف پذیری حرارتی مکانیکی برتر است. این دوام به مواد اجازه می دهد تا مقاومت کنندچرخه های پردازش مکرراز جمله چندین بازپخت خلاء با دمای بالا و روش‌های شیمی{1} شیمی مکانیکی (CMP) که عملکرد پایدار دستگاه را در همه دسته‌ها تضمین می‌کند.

تگ های محبوب: دیسک ساخت سیلیکون، تولید کنندگان دیسک های ساخت سیلیکون چین، تامین کنندگان، کارخانه