ویفرهای پولیش ویفر سیلیکونی در کجا استفاده می شود؟
Mar 15, 2024
ویفرهای پولیش شده پرمصرف ترین محصول هستند و سایر محصولات ویفر سیلیکونی با فرآوری ثانویه بر اساس ویفرهای جلا تولید می شوند.
ویفر پولیش شده ابتدایی ترین ویفر سیلیکونی با گسترده ترین طیف کاربرد است. ویفرهای پولیش شده را می توان مستقیماً برای ساخت دستگاه های نیمه هادی استفاده کرد و به طور گسترده در تراشه های حافظه و دستگاه های قدرت استفاده می شود. آنها همچنین می توانند به عنوان مواد زیرلایه برای انواع دیگر ویفرهای سیلیکونی مانند ویفرهای اپیتاکسیال و ویفرهای سیلیکونی SOI استفاده شوند.
همانطور که عرض خط مشخصه مدارهای مجتمع به کوچک شدن ادامه می دهد و دقت فوتولیتوگرافی به طور فزاینده ای خوب می شود، ناهمواری بسیار کوچک روی ویفر سیلیکونی باعث تغییر شکل و جابجایی الگوی مدار مجتمع می شود. فناوری تولید ویفر سیلیکونی با الزامات و چالش های فزاینده ای مواجه است. اندازه ذرات و تمیزی سطح تراشه نیز تأثیر مستقیمی بر بازده محصولات نیمه هادی دارد.
بنابراین، فرآیند پرداخت برای بهبود صافی و تمیزی سطح ویفر سیلیکونی بسیار مهم است. اصل اصلی صاف کردن سطح ویفر سیلیکونی نیمه هادی و کاهش زبری با حذف لایه آسیب باقی مانده روی سطح پردازش شده است.
