برای پولیش خشن ویفرهای کاربید سیلیکون از چه مایع پولیش استفاده می شود؟

محلول پولیش پرمنگنات پتاسیم بنفش را می توان در پرداخت خشن ویفرهای کاربید سیلیکون استفاده کرد. پرمنگنات پتاسیم در خوردگی اکسیداتیو در حین پرداخت خشن نقش دارد. مستقیماً با سطح کاربید سیلیکون تماس می گیرد تا واکنش اکسیداسیون ایجاد کند و در نتیجه سطح کاربید سیلیکون را اکسید می کند.