چگونه ویفرهای کاربید سیلیکون را آسیاب کنیم؟

آسیاب ویفر کاربید سیلیکون شامل دو فرآیند است: آسیاب خشن و آسیاب ریز.

در فرآیند سنگ زنی خشن ویفر کاربید سیلیکون، از مایع پولیش اکسید آلومینیوم استفاده می شود. مایع پولیش اکسید آلومینیوم در تماس مستقیم با سطح قطعه کار است و به طور مداوم برش و آسیاب می کند و در نتیجه سطح پرداخت سطح ویفر سیلیکونی را بهبود می بخشد. مایع پولیش آلومینا اغلب برای پرداخت سطحی کریستال های نوری و کاربید سیلیکون استفاده می شود.

مایع پولیش الماس (مایع پولیش الماس) در فرآیند آسیاب ریز ویفر کاربید سیلیکون استفاده می شود. الماس در حال حاضر ماده ای با سختی بالاتر است و می توان از آن برای سنگ زنی و پرداخت کاربید سیلیکون استفاده کرد. برای دستیابی به کیفیت سطح خوب از مایع پولیش الماس استفاده کنید.