ویفرهای سیلیکونی فوق{{0} مسطح

ویفرهای سیلیکونی فوق{{0} مسطح

این ویفرهای سیلیکونی فوق{0} مسطح بسیار دقیق هستندمهندسی شده برای برآورده کردن الزامات دقیق یکنواختی صافی و ضخامت، به عنوان مرجع مکانیکی برتر برای خواستارترین گره های لیتوگرافی عمل می کند. با استفاده از مترولوژی تداخل سنجی پیشرفته دو-روی پرداخت دو طرفه (DSP) و-لیزر وفاداری بالا-، زیرلایه‌های ما اعوجاج‌های هندسی را که منجر به خرابی الگوسازی می‌شوند، حذف می‌کنند. این دقت معماری، نیاز اساسی برای حفظ یک صفحه تصویربرداری ثابت است کهبه بهبود عملکرد و پایداری فرآیند در محیط های پیشرفته تولید نیمه هادی کمک می کند.

بهینه شده برای عمق لیتوگرافی-از-فوکوس (DOF):برجسته در صنعت-تنوع کل ضخامت (TTV)این ویفرها و -میزان مسطح مکان فوق العاده کم (SFQR)، سطحی قطعی برای سیستم‌های نوردهی-NA (دیافراگم عددی) بالا ارائه می‌کنند. این وفاداری هندسی تضمین می‌کند که کل سطح ویفر در بودجه فوکوس بحرانی باقی می‌ماند، تاری الگو را به حداقل می‌رساند و یکنواختی CD (بعد بحرانی) ساختارهای دروازه‌ای در مقیاس نانومتری را به طور قابل‌توجهی افزایش می‌دهد.

به حداقل رساندن خطاهای همپوشانی و اعوجاج:زیرلایه‌های فوق‌العاده مسطح ما که به‌طور خاص برای انباشته‌سازی سه‌بعدی چند لایه و بسته‌بندی پیشرفته-طراحی شده‌اند، استرس مکانیکی و اعوجاج‌های "نقلی" را در حین فشار دادن خلاء کاهش می‌دهند. این صافی افزایش یافته امکان برتری را فراهم می کنددقت پوشش، اطمینان حاصل می کند که اتصالات عمودی (TSV) و لایه های فلزی چند سطحی با دقت زیر-نانو متری هم تراز هستند.

تحمل مکانیکی برتر برای جابجایی خودکار:ویفرهای ما با رعایت دقیق‌ترین استانداردهای SEMI، دارای لبه‌های آسیاب دقیق-و تحمل‌های قطری کاملاً کنترل‌شده هستند. این هندسه با وفاداری بالا، سازگاری بدون اصطکاک را با-روباتیکی با سرعت بالا و ابزارهای شیمیائی{4}مکانیکی خودکار (CMP) تضمین می‌کند، به طور مؤثر نرخ شکستگی را کاهش می‌دهد و تکرارپذیری دسته‌ای-به{6} را تضمین می‌کند.تولید با حجم بالا-(HVM).

تگ های محبوب: ویفرهای سیلیکونی فوق العاده-تخت، ویفرهای سیلیکونی فوق العاده-تولید کنندگان، تامین کنندگان، کارخانه