دیسک سیلیکونی دقیق

دیسک سیلیکونی دقیق

این سری دیسک سیلیکونی دقیق برای ارائه به دقت مهندسی شده استکنترل ابعاد عالی، به عنوان یک پایه-وفاداری بالا برای ساخت میکرو-پیشرفته عمل می کند. پشتیبانی از طیف کامل صنعتی از2 اینچ (50 میلی متر) تا 12 اینچ (300 میلی متر)این دیسک ها برای حفظ یکپارچگی هندسی مطلق تحت چرخه های پیچیده حرارتی و شیمیایی ساخت نیمه هادی های مدرن طراحی شده اند.

پایداری هندسی بهینه:راهندسه دقیقهر دیسک تحت تلرانس‌های{0}محکم برای تغییرات ضخامت کل (TTV)، تار و کمان است. این ثبات ساختاریثبات پردازش را بهبود می بخشدبه ویژه در هنگام-صفحه‌سازی مکانیکی{1} شیمیایی با سرعت بالا (CMP) و پردازش حرارتی سریع (RTP)، که در آن حتی تغییرات جزئی نیز می‌تواند یکنواختی لایه‌های بحرانی را به خطر بیندازد.

تراز لیتوگرافی پیشرفته:دیسک طراحی شده است تاکاهش خطاهای تراز در حین پردازشبا ارائه یک سطح شروع فوق العاده صاف. این دقت تضمین می‌کند که علامت‌های تراز کلی و محلی در محدوده تصویربرداری اسکنرهای-با وضوح بالا باقی می‌مانند، ودقت بالا-ساختو جلوگیری از اعوجاج الگو در منطق چندلایه-وآی سی برق (IGBT/MOSFET)معماری ها

کیفیت محصول قابل پیش بینی:سختگیر ماکنترل دقیقپروفیل بالای لبه و ابعاد بریدگی، ادغام یکپارچه با سیستم‌های رباتیک خودکار را تضمین می‌کند. این قابلیت اطمینان مکانیکی به طور مستقیمکیفیت محصول نهایی را افزایش می دهد، منجر به توزیع پارامترهای الکتریکی منسجم‌تر و افزایش قابل اندازه‌گیری در بازده سطح ویفر- (WLY) در کاربردهای مختلف صنعتی و خودرویی می‌شود.

تگ های محبوب: دیسک سیلیکون دقیق، تولید کنندگان دیسک سیلیکون دقیق چین، تامین کنندگان، کارخانه