علت تبلور زدایی ویفر سیلیکونی چیست؟

تبلور زدایی ویفر سیلیکونی معمولاً در اثر عملیات حرارتی بیش از حد یا استرس مکانیکی ایجاد می شود. دمای بیش از حد بالا یا نرخ گرمایش و سرمایش نامناسب در طول عملیات حرارتی ممکن است باعث ایجاد مشکلاتی در آرایش اتمی در کریستال سیلیکون شود و در نتیجه تبلور زدایی شود. تنش مکانیکی ممکن است از جابجایی نامناسب یا نیروی خارجی در طول پردازش ایجاد شود. کریستال زدایی به این معنی است که ساختار کریستالی سیلیکون از بین می رود.