نمرات ویفر سیلیکونی چگونه تقسیم می شوند؟
Mar 19, 2024
درجه ویفر سیلیکونی:
MG-Si → SeG-Si → SoG-Si
پالایش از طریق فرآیند زیر انجام می شود:
شن و ماسه کوارتز ← سیلیکون درجه متالورژی ← پالایش و پالایش ← شمش سیلیکون پلی کریستالی رسوبی ← سیلیکون مونوکریستال ← برش ویفر سیلیکونی.
سیلیکون گرید متالورژی MG-Si
ماده اولیه برای تصفیه سیلیکون SiO2 است که عمدتاً از ماسه تشکیل شده است. در حال حاضر، سنگ کریستالی SiO2، یعنی سنگ آهک، با کربن در یک کوره قوس الکتریکی بزرگ کاهش می یابد: SiO2+2C→Si+2CO
به طور منظم از کوره ریخته می شود، با اکسیژن و گاز مخلوط اکسیژن و کلر خالص می شود، سپس در یک مخزن کم عمق ریخته می شود تا در مخزن جامد شود و سپس به صورت بلوک کوبیده می شود.
MG-Si به SeG-Si خالص می شود
روش استاندارد پالایش عبارت است از: زیمنس.
MG-Si به ترکیبات فرار تبدیل می شود که سپس با تقطیر جزئی تغلیظ و خالص می شود.
روش فرآیند: از HCl برای تبدیل MG-Si ریز تقسیم شده به مایع استفاده کنید
از یک کاتالیزور برای تسریع واکنش استفاده کنید: Si+3Hcl→SiHCl3+H2
مواد اولیه صنعتی سیلیکون MG-Si → SiHCl3
برای استخراج گاز مخلوط قابل گرم شدن MG-Si، SiHCl3 توسط H2 کاهش می یابد و سیلیکون به شکل پلی سیلیکون ریزدانه بر روی میله گرمایش الکتریکی رسوب می کند، همانطور که در سمت راست نشان داده شده است: SiHCl3+H2 → Si+3HCl
SeG-Si به SoG-Si خالص شد
پلی سیلیکون SeG-Si ذوب می شود و ماده ناخالصی مورد نیاز برای دستگاه اضافه می شود که معمولاً بور (ناخالص کننده نوع P) است.
میله های سیلیکونی تک کریستال استوانه ای بزرگ را می توان با استفاده از کریستال های دانه ای از سیلیکون مذاب بیرون کشید، زمانی که دما را بتوان به دقت کنترل کرد. قطر بیش از 125 سانتی متر و طول آن 1 تا 2 متر است.




