چه چیزی بر پایداری ویفر سیلیکونی در طول آزمایش فرآیند تأثیر می گذارد؟

 

یک ویفر سیلیکونی می تواند قطر اسمی خود را برآورده کند و همچنان نتایج آزمایش متناقض را تولید کند. تفاوت در یکنواختی ضخامت، وضعیت سطح، ذخیره سازی یا جابجایی می تواند بر نحوه عملکرد ویفر در ارزیابی فرآیند یا تجهیزات تأثیر بگذارد.

 

هنگامی که نتایج آزمایش متفاوت است، تیم شما باید تعیین کند که آیا علت فرآیند، تجهیزات یا ویفر است. تعریف الزامات ویفر قبل از آزمایش به کاهش این عدم قطعیت کمک می کند و تفسیر نتایج را آسان تر می کند.

 

چرا تنوع ویفر می تواند آزمایش را پیچیده کند؟

 

ویفر آزمایشی بخشی از تنظیمات تست است. اگر شرایط آن بین اجراها تغییر کند، مقایسه ها ممکن است کمتر قابل اعتماد شوند.

 

به عنوان مثال، یک ویفر با تغییر ضخامت خارج از حد توافق شده ممکن است آنطور که انتظار می رود در مرحله پردازش یا فرآیند عمل نکند. ذرات یا آسیب‌های سطحی نیز می‌توانند بازرسی اضافی را آغاز کنند یا ارزیابی خود فرآیند را دشوارتر کنند.

 

هزینه به دست آمده به ویفر محدود نمی شود. مهندسان ممکن است نیاز به تکرار یک اجرا، بررسی داده های متناقض یا به تاخیر انداختن ارزیابی تجهیزات داشته باشند.

 

یک مشخصات واضح به خرید، مهندسی و تامین کننده مبنای مشترکی برای انتخاب و پذیرش ویفرهای آزمایشی می دهد.

 

چهار عاملی که قبل از آزمایش باید تعریف کرد

 

1. یکنواختی ضخامت

 

ضخامت و تلرانس اسمی را مشخص کنید، سپس هر گونه تغییر ضخامت کل (TTV) مورد نیاز را جداگانه بیان کنید.

 

TTV تفاوت بین حداکثر و حداقل ضخامت اندازه گیری شده در یک ویفر را توصیف می کند. با تحمل ضخامت اسمی قابل تعویض نیست. در مورد شرایط اندازه گیری قابل اجرا و محدوده بازرسی توافق کنید.

 

قابلیت پردازش ویفر اعلام شده Zhonggui Semiconductor شاملTTV < 5 میکرومتر. تأیید کنید که این مقدار برای قطر، ضخامت و پیکربندی محصول درخواستی اعمال می شود.

 

2. وضعیت سطح

 

"Polished" سطح ویفر را به طور کامل تعریف نمی کند. مشخص کنید که آیا یک طرف یا هر دو طرف نیاز به پولیش دارند یا خیر و هر گونه زبری، تمیزی یا نقص سطحی مورد نیاز مربوط به آزمایش را بیان کنید.

 

قابلیت زبری سطح اعلام شده Zhonggui Semiconductor استRa < 1 نانومتر. هنگام درخواست قیمت، سطح و شرایط اندازه گیری قابل اجرا را تأیید کنید.

 

یک نیاز سطحی باید هدف آزمایش را منعکس کند. اگر آزمایش به مشخصه سطح خاصی بستگی ندارد، از افزودن محدودیت پذیرش غیر ضروری خودداری کنید.

 

3. ذخیره سازی و جابجایی

 

ذرات، خراش ها، تراشه های لبه و شکستگی می توانند بر بازرسی ورودی و تنظیم تست تأثیر بگذارند. ویفرها را تا زمان استفاده در بسته بندی و حامل های مشخص شده نگه دارید و دستورالعمل های مربوط به نگهداری و جابجایی را دنبال کنید.

 

زمان باز شدن بسته بندی و نحوه نگهداری ویفرها پس از آن را یادداشت کنید. اگر تاریخچه ذخیره سازی ناقص است، از تامین کننده یا تیم مهندسی خود بپرسید که قبل از استفاده چه بررسی هایی لازم است.

 

4. الزامات برق و مواد

 

اگر خواص الکتریکی برای آزمایش اهمیت دارد، نوع هدایت، محدوده مقاومت، جهت کریستال و سایر الزامات مواد مرتبط را مشخص کنید.

 

تصور نکنید که برچسب محصول ویفر این ویژگی ها را نشان می دهد. الزامات مؤثر بر آزمایش را بیان کنید تا تامین کننده بتواند پیکربندی مناسب را نقل قول کند.

 

چک لیست مشخصات تست ویفر سیلیکونی

 

 

پارامتر	چه چیزی را مشخص کنیم	قابلیت یا نت Zhonggui
قطر	اندازه و تحمل مورد نیاز	محدوده محصول 1-12 اینچ را پوشش می دهد. اندازه های کلیدی شامل 200 میلی متر و 300 میلی متر است
ضخامت	ضخامت اسمی و تحمل	پیکربندی درخواستی را تأیید کنید
تی تی وی	محدودیت، شرایط اندازه گیری، و دامنه بازرسی	قابلیت پردازش بیان شده: TTV < 5 میکرومتر
پرداخت سطح	طرف(های) جلا داده شده، زبری، و معیارهای تمیزی مربوطه	قابلیت زبری بیان شده: Ra < 1 نانومتر
خواص الکتریکی	نوع رسانایی و محدوده مقاومت، در صورت لزوم	ویفرهای با مقاومت بالا بالای 5000 Ω·cm در دسترس هستند. پیکربندی سفارش را تایید کنید
جهت گیری کریستالی	جهت گیری و تحمل مورد نیاز	شرایط مورد نیاز را در استعلام یا نقاشی درج کنید
بسته بندی	حامل، مقدار در هر بسته، و نیازهای جابجایی	با تامین کننده تایید کنید
تحویل	مقدار، تاریخ هدف و تقاضای تکراری	برای سفارش خاص تایید کنید

قابلیت ها باید برای مشخصات کامل درخواستی تایید شوند. مقادیر ذکر شده به این معنی نیست که هر اندازه و ترکیب مواد تحت شرایط یکسان در دسترس است.

 

قیمت های تست ویفر را با شرایط مشابه مقایسه کنید

 

برای هر تامین کننده مشخصات یکسانی ارسال کنید. بررسی کنید که قیمت‌ها به همان قطر، ضخامت، TTV، پرداخت سطح، خواص الکتریکی، الزامات بازرسی، بسته‌بندی و تاریخ تحویل یکسان باشند.

 

نقل قولی که می‌گوید «ویفر آزمایشی صیقلی» ممکن است شامل معیارهای پذیرش یکسانی نباشد که محدودیت زبری و شرایط اندازه‌گیری را مشخص می‌کند. قبل از مقایسه قیمت های واحد، این تفاوت ها را حل کنید.

 

برای تکرار آزمایش، به مشخصات و بازبینی تایید شده مراجعه کنید. این کمک می کند تا سفارشات بعدی با شرایط استفاده شده در ارزیابی اصلی هماهنگ باشند.

 

ویفرهای آزمایشی خود را با نیمه هادی Zhonggui مشخص کنید

 

Zhonggui Semiconductor زیرلایه های سیلیکونی، ویفرهای ساختگی، ویفرهای آزمایشی و ویفرهای با مقاومت بالا را در محدوده محصولات 1 تا 12 اینچی، شامل اندازه های 200 میلی متر و 300 میلی متر، عرضه می کند.

 

قابلیت های پردازش بیان شده ما عبارتند ازTTV < 5 میکرومتروRa < 1 نانومتر. معیارهای آزمون و پذیرش مورد نظر خود را به اشتراک بگذارید تا پیکربندی درخواستی قبل از نقل قول بررسی شود.

 

برای درخواست یک قیمت سفارشی، ارائه کنید:

 

هدف برنامه و آزمون

 

نوع و قطر ویفر.

 

ضخامت و تحمل.

 

الزامات TTV و سطح

 

خواص الکتریکی و جهت گیری کریستال، در صورت لزوم.

 

مقدار، نیازهای بسته بندی و تاریخ تحویل درخواستی.

 

درخواست یک قیمت ویفر سیلیکونی سفارشییا محدوده محصولات ویفر سیلیکونی ما را مرور کنید.

 

سوالات متداول

 

TTV برای ویفر سیلیکونی به چه معناست؟

 

TTV تفاوت بین حداکثر و حداقل ضخامت اندازه گیری شده در یک ویفر تحت شرایط اندازه گیری مشخص شده است.

 

آیا Ra < 1 نانومتر برای هر سطح ویفر اعمال می شود؟

 

به صورت خودکار نیست. تأیید کنید که کدام سطح و شرایط اندازه گیری توسط مشخصات نقل شده پوشش داده شده است.

 

آیا ظاهر ویفر سیلیکونی می تواند تأیید کند که برای آزمایش مناسب است؟

 

بازرسی بصری می تواند برخی از نگرانی های قابل مشاهده را شناسایی کند، اما تمام الزامات ابعادی، سطحی یا الکتریکی را تعیین نمی کند. چک هایی را که برای آزمون شما مهم هستند تعریف کنید.

 

هنگام سفارش ویفر آزمایشی چه اطلاعاتی باید ارائه کنم؟

 

کاربرد، قطر، ضخامت، تلرانس ها، سطح مورد نیاز، خواص الکتریکی در صورت لزوم، مقدار و برنامه تحویل را ارائه دهید.